北京PK10彩票


产品目录
消息资讯
 
旋片式真空泵系列
2X型旋片式真空泵
X型旋片式真空泵
2XZ型旋片式真空泵
WX型无油真空泵
XD型旋片式真空泵
水环式真空泵系列
2BV型水环式真空泵
2BE型水环式真空泵
SK型水环式真空泵
SK型直联水环式真空泵
2SK型水环式真空泵
SZ型水环式真空泵
SZB型水环式真空泵
往复式真空泵系列
W系列往复式真空泵
WLW系列无油立式真空泵
罗茨真空泵系列
ZJ系列罗茨真空泵
ZJP系列罗茨真空泵
滑阀式真空泵系列
H滑阀式真空泵
2H滑阀式真空泵
水喷射真空泵系列
RPP型水喷射真空泵
ZSB型水喷射真空泵
PSB型水喷射真空泵
QPB型水蒸汽喷射真空泵
扩散泵系列
K型扩散泵
KT(TK)型金属油扩散泵
真空机组系列
JZJX系列罗茨旋片真空机组
JZJ2B(S)系列罗茨水环真空机组
JZJS系列罗茨水环真空机组
JZJBA系列罗茨水环真空机组
JZJP型罗茨水喷射真空机组
RPP系列水喷射真空机组
JZJW系列罗茨无油往复真空机组
JZJH系列罗茨滑阀真空机组
ZKJ系列真空机组
无油干泵系列真空机组
扩散泵系列真空机组
真空泵配件
DDC-JQ真空阀
DYC-Q真空阀
真空泵油
真空表
接洽我们
公司地址:上海市青浦区成功路588号
销售电话:021-51699921
公司传真:021-60852131
公司网址:feiyestone.com
公司邮箱:chinafeilu@163.com
推荐文章
真空冷冻干燥在医行事业上的利用

夏季中水环式真空泵真空度降低的原因

旋片式真空泵利用
飞鲁水环泵的型号阐明及工作原理
真空机组安装调试的注意事项
直联旋片泵的利用禁忌及保养方法
超高真空机组的特点及分类
实验室中常用机械泵的分类
JZJS罗茨水环真空机组在真空炉中利用
超高真空机组的特点及分类
您当前地位:北京PK10彩票--消息资讯

如何获得高真空



如果不从氢气的放电中排走氢气的话,就会使溅射速率降低,并使氢气掺入到薄膜中去。在溅射时采用具有选择性抽气的睁态模式

中迸行放电或让大批氢气流过真空室,可以保持溅射放电时氢气或其它惰性气体的干净度。当真空室的援助泵有选择地抽除了其它

气体后,将真空室抽空并再充入必定工作压强的氢气,以保持静态放电。但问题是没有理想的援助泵。最接近于理想的升华泵,会

产生一些甲烷且无法油除的惰性气体杂质。由于这些原因,溅射时不常采用静态放电。这里,就象利用反响性气体的等离子体工艺

那样,排除杂质的一种可靠技巧是粘滞流的冲洗。粘滞流的冲洗只能在当气流是通过活性溅射区和真空室,而且从气源中来的杂质

的达到速率要比真空室壁上解吸率低得多的情况下利用。拉蒙特(Lamont)曾指出,仅仅川大流览还不能保证冲洗充分,还必须使清

洗区域中的气流速度很快。采用大流量可以减少真空室内所产生的污染。在大流量极限时,所能达到的最低污染程度就取决于气体

源中的污染程度。在恳求很严的利用中,是让气体通过一台钦升华泵来进行净化。因此,用所能获得的最纯的气体以大于每秒几百

Pa·L的速率来冲洗前面所描写过的那祥大小的真空室是没有多大意义的。对保持适于纯的薄膜淀积的条件来说,气源的干净程度和

气体的流率两者都是同等重要的。

仅仅用气体冲洗是无法充分打扫真空室内的全部残余气体的。无污染的溅射恳求先用高真空抽气抽到合适的本底压强。然后用遮板

遮住筹备镀膜的样品,同时作预溅射,以放电进行清沽处理。舍恩和帕特森注意到范例的6in。扩散泵抽气系统的冲洗时间非常短

(1/7s),以致这种系统可用简略的抽气抽到工艺压强就进行辉光放电而不必先抽到高真空。遗憾的是辉光放电并不能把所有的表面都

充分清洗干净,也不能使表面迅速出气。未裸露在辉光中的表面所不断放出的水蒸气会使淀积薄膜遭到氧或氢的污染。最要紧的是

,在不利用残余气体分析器的情况下,日常检查小漏的唯一方法是每次在打开漏孔通入氩气流之前,必须将系统抽到同样的本底压

强。预戮射干净处理可以 有几种方法。如果所溅射的材料是一种吸气剂,那就可以让它淀积到真空室壁上,在那里它会成为一个有

效的吸气剂泵。溅射的材料也笼罩被吸附的气体,而放电则清洗暴琳在辉光中的阴极和其它表面。

本底压强的大小和预溅射时间的长短同工艺过程、设备和材料有关。例如德埃尔指出,对铝膜来说,十分钟的预溅射干净处理就已

足够了,而布莱克曼认为铝的干净处理时间至少需要一个小时,根本没有统一的意见。某些材料的性质同膜的纯度有严格的关系,

以致本底压强的大小和预钱射时间的长短对重复制备的均匀而高质里的薄膜是至关重要的。

这段讨论的结论是建立起一个初始的干净状态需要用高真空泵,而预戮射干净处理和去除真空室的污染,则猫要采用无氛和泵液返

流的节流的高压缩比的泵。用同一合泵是能礴足这两个恳求的。也可采用两种完整不同的抽气系统,用一白高真空、小排气量系统

来进行初始的干净处理,再用一台中真空系统来抽除大流量,但要设计出能达到所擂要的对级压缩比的中真空系统则是相当艰苦的。

上一篇:节流的高真空系统
下一篇:上海真空泵价格
转载请注明出处:http://feiyestone.com,飞鲁泵业版权所有
网站地图  接洽我们
 
 
上海飞鲁真空泵厂有限公司 销售部电话:021-51699921 免费热线:400-021-5161 销售部传真:021-60852131 
 
公司地址:上海市青浦区盈港开发区成功路588号
 
本网站所有图片和材料均属飞鲁泵业科技所有,未经批准不得转贴  网站备案号:沪ICP备11035286号
北京pk10投注 北京pk10开奖直播 北京PK10 北京PK10开奖 北京PK10开奖结果 北京PK10开奖网址 北京PK10开奖网站 北京PK10开奖规律 北京PK10开奖网 北京PK10官网开奖