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扩散泵的泵体特点

对于一般的扩散泵,泵体多做成直筒型;对于大型泵,也有用锥筒形或凸腔形泵体。由于圆筒形泵体便于加工,所以目前利用较多。

泵口直径D<250mm的泵体用无缝钢管做成;大泵的泵体用4~10mm厚的钢板卷成圆筒焊接而成,焊缝不能漏气。泵内壁应抛光镀镍。

凸腔泵体可以在不增长泵口尺寸的情况下,使抽速得到较大的进步。凸腔泵体是将直筒形泵体转变成局部鼓形凸腔泵体。加工方法

仍是用钢板焊接而成。泵的底部截面与泵法兰入口直径仍雷同,只是泵体在入口法兰的下部扩大泵腔,扩大的直径延伸都第2级喷嘴

射流直射到的泵壁处。由于泵体凸腔,扩大了抽气作用空间,增大了第一、二级喷嘴间通导能力,也就进步了抽速。

超高真空泵油也是很重要的问题。不适当的泵壁表面温度,使碰撞在扩散泵内表面的油蒸气分子不易凝聚,沿泵壁向下流的油层表

面温度比泵壁温度高的较多,易于产生再蒸发,形成油蒸气返流。所以泵壁冷却效率要高。一般在泵壁外面焊上螺旋形铜管或做成

水套情势(也可在水套中间装上螺旋形钢丝)。泵冷却部位通常只限于蒸气流能喷射到的区域,这样可以使从上面冷凝下来的油在

回到油锅前受到较高的热度,使溶解在油中的气体放出,避免它再混入油蒸气中进入各级喷嘴,影响泵的真空度。

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