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真空计

在真空装置主动把持中,往往要进行真空测量,由于真空装置种类繁多、工作压力领域也不尽雷同,因此,从100000-0.00001的各个真空区域的真空测量均会遇到。通常利用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功效,真空仪器厂家还生产包含遥控遥测、模仿量输出、RS - 232C等通信接口、压力调节等功效模块板供用户选配。因此,一个配置齐全的真空计,不仅能进行真空度测量、数字显示、量程主动切换、误差主动修正,而且能在压力设定点发出把持信号去进行压力把持,按设定压力值进行压力主动调节,还能将测量值打印记载,并与上位机进行通信接洽,甚至还能进行远距离真空测童与把持。
(1)压力把持仪
在工业生产和科学实验中,往往渴望真空装置的真空室中的真空度能按真空工艺的恳求,保持在某一给定值上。这种恳求通常可以通过手动调节真空微调阀来完成,倘若渴望主动地完成压力调节,就要借助于压力把持仪来完成。
压力把持仪通常由真空测量单元(真空计)、压力主动调节电路和真空调节阀组成,它是集真空测量与压力调节于一体的主动把持仪器。国产压力把持仪重要有HY, ZDC, SYK, DL,ZZK等系列产品。
表征压力把持仪的重要技巧指标是压力把持领域、把持精度、流量把持领域、反响时间等。它取决于其配用的真空规管、把持电路及真空调节阀的性能。
压力把持仪广泛利用于离子注人、离子束刻蚀、真空镀膜、激光技巧及半导体材料等领域,其利用的环境条件与同类型的真空计大致雷同。
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