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真空装置主动把持常用名词汇术语

1、被把持对象
恳求实现把持的真空装置或生产过程,称之为被把持对象。例如真空阀、
真空泵、真空镀膜机、真空热处理炉等。
2、测量装置
测量被把持量变更的装置。例如:真空计、温度计、膜厚测量仪等。
3、调节装置(调节器)
它把测量装置所测量的被把持童与真空工艺所需要保持的给定值相比较,得出偏差值,并按设计好的运算规律进行运算,发出信号,使把持履行机构动作,以打消被把持量与给定值的偏差。如模仿PID(比例、积分、微分)调节器、数字PID调节器(即单片机、打算机)等。在真空装置的真空度把持中,它通常与测量装置的真空规及履行机构的真空调节阀组合在一起,构成压力把持仪。
4、履行机构
它吸收调节装置发出的信号,产生调节作用,以打消被把持量与给定值的偏
差。如真空室中调节真空度的调节阀及调节加热温度的调功器均属此类机构。
5、被把持量
系指被把持对象内恳求实现把持的参数。例如:压力、温度、流量、膜厚等。
6、测量值
测量装置所测得的被把持量的实际值。
7、给定值
被把持量恳求保持恒定或按预定规律变更的规定值。
8、偏差
测量值与给定值之差。
9、扰动干扰
它是使被把持量产生变更的因素。扰动分两种:一种为把持系统内各个环节产生的扰动,称为内扰;另一种为把持系统以外对系统产生的干扰,称为外扰。
10、反馈
把输出信号送回到输人端,以加强或削弱输人信号的效应称为反馈。凡使输人信号加强者称为正反馈;反之,则称为负反馈。在主动把持系统中多采用负反馈。
11、调节过程系指把持系统受到加外信号(给定值或扰动)作用后,本来的平衡状态遭到损坏,由于主动把持装置的调节作用,使被把持量回复到本来的平衡状态,或过渡到新的平衡状态的过程。
12、位式调节
系指被把持量偏离给定值时,调节器使履行机构全开或全关的调节。如具有上、下限压力给定的真空继电器的压力调节。
13、比例调节
调节器输出的信号与偏差大小成比例,使履行机构的地位对应于偏差的大小,它能减小偏差,但是不能完整打消偏差。常用P(Proportional)表现。
14、比例积分调节
调节器输出的信号不仅与偏差成比例,且与偏差对时间的积分成比例,使履行机构按偏差的比例、积分规律进行调节,是理论上偏差为零的调节。常用PI (Propor-tional Intergral)表现。
15、比例积分微分调节
是将比例、积分、微分三种调节规律联合起来的综合调节,调节器输出的信号不仅与偏差的大小及偏差存在的时间长短有关,还与偏差变更的速度有关。常用PID(Proportional Intergral Derivative)表现。
16、比例放大倍数Kp增大Kp,可使静态偏差变小,但系统的牢固性变差;反之,则可进步系统的牢固性,但是,静态偏差变大。通常用调节器的比例放大倍数Kp的倒数8表现,称为比例度。
17、积分时间T表现积分调节作用速度和强弱的可调参数。在模仿积分调节器中,其数值等于调节器积分回路的时间常数。
18、微分时间Td
表现调节器中微分调节作用强弱的可调参数。在模仿微分调节器中,其数值等于调节器微分回路的时间常数。
19、牢固性
系指把持系统在扰动作用下,过度过程能否结束并达到平衡状态的性能。在
扰动打消后,系统能恢复本来的平衡状态的则是牢固的。
20、稳态精度
系指系统处于平衡状态时,被把持量与给定值的偏差(即静态偏差)。
21、动态精度
系指系统在随时间变更的给定信号作用下所具有的精度。在定值系统中,动态精度就是过度过程最大动态偏差。
22、主动把持系统
主动把持装置和被把持对象组成主动把持系统,它能够使被把持对象按预定的规律动作,主动完成真空工艺过程。如镀膜机微机把持系统等。
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